[文章導(dǎo)讀] 評價一臺電子能譜儀的主要指標(biāo)是靈敏度和能量分辨率。 儀器的靈敏度與多種因素有關(guān)，例如樣品、激發(fā)源、激發(fā)面積、能量分析器、入口或出口狹縫、電子探測器、放大器等。為了考察儀器的靈敏度，一般采用Ag3d5/2峰的計(jì)數(shù)率表示儀器的整體靈敏度。能量分辨率與樣品中被激發(fā)的能級的線寬、
評價一臺電子能譜儀(點(diǎn)擊了解詳情)的主要指標(biāo)是靈敏度和能量分辨率。
能譜儀儀器的靈敏度與多種因素有關(guān)，例如樣品、激發(fā)源、激發(fā)面積、能量分析器、入口或出口狹縫、電子探測器、放大器等。為了考察儀器的靈敏度，一般采用Ag3d5/2峰的計(jì)數(shù)率表示儀器的整體靈敏度。能譜儀的能量分辨率與樣品中被激發(fā)的能級的線寬、樣品基體、儀器的展寬與X射線的線寬有關(guān)，最終譜的寬度應(yīng)為多種因素卷積的綜合結(jié)果。一臺電子能譜儀的靈敏度和能量分辨率是相互牽制的，即當(dāng)提高儀器靈敏度要犧牲儀器的分辨率。
考察一臺電子能譜儀的質(zhì)量是一項(xiàng)很復(fù)雜的工作，除了靈敏度和能量分辨率外，還需要考察儀器的功能、能譜儀的操作使用、儀器的維護(hù)（如真空維護(hù)）、數(shù)據(jù)系統(tǒng)、制樣、功能擴(kuò)展性、荷電中和、離子刻蝕、穩(wěn)定性、可靠性、精度等等。
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