[文章導(dǎo)讀] 納米壓痕/納米劃痕測(cè)試儀的基本功能是對(duì)材料的硬度、彈性模量、斷裂韌性、蠕變、摩擦、磨損性能等進(jìn)行測(cè)定，設(shè)計(jì)的材料幾乎涵蓋所以的材料研究領(lǐng)域，比較典型的包括薄膜和納米材料、半導(dǎo)體材料、金屬材料、先進(jìn)功能材料、生物材料等。

納米壓痕/納米劃痕測(cè)試儀的基本功能是對(duì)材料的硬度、彈性模量、斷裂韌性、蠕變、摩擦、磨損性能等進(jìn)行測(cè)定，設(shè)計(jì)的材料幾乎涵蓋所以的材料研究領(lǐng)域，比較典型的包括薄膜和納米材料、半導(dǎo)體材料、金屬材料、先進(jìn)功能材料、生物材料等。

隨著應(yīng)用研究工作的深入，通過(guò)再納米壓痕/納米劃痕測(cè)試儀器的基礎(chǔ)上改造、增添新的測(cè)試模塊，納米壓痕/納米劃痕儀器的功能不斷得到拓展，現(xiàn)在納米壓痕/納米劃痕測(cè)試儀還可以開(kāi)展材料的參與應(yīng)力測(cè)量、沖擊壓痕測(cè)試、微懸梁臂等期間剛度系數(shù)測(cè)量、為拉伸。壓縮測(cè)試、耦合高溫、電場(chǎng)、濕潤(rùn)環(huán)境、多物理場(chǎng)等的測(cè)試以及微結(jié)構(gòu)表面加工等。

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