[文章導(dǎo)讀] 等離子表面處理機(jī)刻蝕，是干法刻蝕中最常見(jiàn)的一種形式。等離子表面處理機(jī)刻蝕是在等離子體存在的條件下，通過(guò)平面曝光、濺射、化學(xué)反應(yīng)、輔助能量離子（或電子）與模式轉(zhuǎn)換等方式，精確可控地除去襯底表面上一定深度的薄膜物質(zhì)而留下不受影響的溝槽邊壁上的物質(zhì)的一種加工過(guò)程

      等離子表面處理機(jī)（點(diǎn)擊了解詳情），又叫等離子清洗機(jī)等。有等離子刻蝕功能，是干法刻蝕中最常見(jiàn)的一種形式。等離子表面處理機(jī)是在等離子體存在的條件下，通過(guò)平面曝光、濺射、化學(xué)反應(yīng)、輔助能量離子（或電子）與模式轉(zhuǎn)換等方式，精確可控地除去襯底表面上一定深度的薄膜物質(zhì)而留下不受影響的溝槽邊壁上的物質(zhì)的一種加工過(guò)程，該過(guò)程通常是各向異性的，而且是按直線方向進(jìn)行的。

     等離子表面處理機(jī)可應(yīng)用于所有的基材，甚至復(fù)雜的幾何構(gòu)形都可以進(jìn)行等離子體活化、等離子體清洗，等離子刻蝕，等離子體鍍膜也毫無(wú)問(wèn)題。等離子表面處理機(jī)運(yùn)作時(shí)的熱負(fù)荷及機(jī)械負(fù)荷都很低，因此，低壓等離子體也能處理敏感性材料。等離子表面處理機(jī)刻蝕的材料主要分為金屬材料和硅。等離子表面處理機(jī)刻蝕一般都工作在低氣壓的條件下。在低氣壓下，氣體分子密度降低，電子自由度增加，因而電子在每?jī)纱闻鲎仓g的加速度能量增加，使電離幾率增加。

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