FemtoTools是一家瑞士高科技公司，研發(fā)團隊依托于瑞士聯(lián)邦理工學院-機器人與智能系統(tǒng)研究所（ETH-IRIS）Bradley Nelson 教授課題組，為微納米尺度的機械測試和機器人處理研發(fā)超高精度儀器，充分滿足半導體技術(shù)、微系統(tǒng)開發(fā)、材料科學、微型醫(yī)學和生物技術(shù)等領(lǐng)域的挑戰(zhàn)性要求。
FT-NMT04是瑞士FemtoTools公司最新研發(fā)的一款原位納米壓痕儀。
FT-NMT04納米力學性能測試系統(tǒng)是一種多功能原位SEM/FIB納米壓痕儀，能夠精確量化微米和納米級材料的力學行為。作為世界上第一個基于MEMS的納米壓痕儀，F(xiàn)T-NMT04基于獲得專利的Femto Tools微電子機械系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)。利用二十多年的技術(shù)創(chuàng)新，這種原位納米壓痕具有無與倫比的分辨率，可重復性和動態(tài)響應。
FT-NMT04原位納米壓痕儀針對金屬，陶瓷，薄膜以及超材料和MEMS等微結(jié)構(gòu)的機械測試進行了優(yōu)化。此外，通過使用各種附件，F(xiàn)T-NMT04的功能可以擴展到各個研究領(lǐng)域的多樣化要求。典型應用包括通過微柱的壓縮測試或狗骨樣本，薄膜或納米線的拉伸測試來量化塑性變形機制。此外，彎曲期間的連續(xù)剛度測量使得能夠在微梁的斷裂測試期間量化裂縫生長和斷裂韌性。由于無與倫比的低噪聲基底分別為500pN和50pm，F(xiàn)T-NMT04可實現(xiàn)淺納米壓痕，具有前所未有的可重復性。
FT-NMT04納米力學性能測試系統(tǒng)可以集成到大多數(shù)SEM / FIB系統(tǒng)中
FT-NMT04原位納米壓痕儀功能:
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納米壓痕，壓縮測試，拉伸測試，斷裂測試，疲勞測試 |
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使用SEM，EBSD或STEM進行定量機械測試和同步成像 |
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獲得專利的基于MEMS的傳感技術(shù)可實現(xiàn)0.5 nN至200 mN的最高分辨率和重復力，以及0.05 nm至21 mm的位移 |
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能夠進行連續(xù)剛度測量（CSM）或高達500 Hz的疲勞測量，無需復雜的動態(tài)校準 |
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真正的位移控制測試，可實現(xiàn)快速應力下降的量化（也可以選擇基于力反饋的力控制測量） |
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3軸,4軸或5軸（x,y,z,旋轉(zhuǎn),傾斜）,閉環(huán)傳感器,使用所有軸上的位置編碼器進行樣品對齊 |
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高溫測試可達400℃ |
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能夠?qū)悠酚行虻囟ㄏ虻郊{米壓頭尖端，電子束和EBSD檢測器，以評估特定顆粒和位置的硬度（僅適用于5軸配置） |
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簡單確定壓頭區(qū)域功能和框架順應性 |
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強大的數(shù)據(jù)分析工具，用于評估測量結(jié)果并應用擬合或函數(shù)來計算材料屬性 |
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SEM樣品臺安裝可以快速安裝和移除SEM室內(nèi)的系統(tǒng) |
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緊湊的模塊化設計使其幾乎可以集成到任何SEM中 |
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可定制的測量程序和原則 |
FT-NMT04原位納米壓痕儀應用概述:
微柱壓縮
確定滑移系統(tǒng)的臨界分辨剪切應力（CRSS）
表征單軸應力下的變形機制
韌性損傷和應變局部化的量化
微懸臂斷裂試驗
用連續(xù)J積分法測定亞微米斷裂韌性
表征單調(diào)和循環(huán)斷裂行為
量化各個裂紋的萌生和傳播
納米壓痕
以低容量確定硬度和楊氏模量
量化接觸力學和動態(tài)響應
多軸應力下變形機制的表征
微拉伸試驗
確定屈服應力，極限拉伸應力和斷裂伸長率
在單調(diào)和循環(huán)加載下表征斷裂模式
定量應變局部化效應和裂紋萌生和傳播事件
用STEM / EBSD進行相關(guān)的機械測試
應變定位的定量研究
相變的定量研究
紋理演變的定量研究
位錯動力學的定量研究
晶界遷移的定量研究
FT-NMT04系統(tǒng)構(gòu)造和配置:
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主要特征 力感應范圍：+/-200mN 強制本底噪聲（10Hz）：500pN 位移范圍：25μm 位移噪聲層（10Hz）：50pm 連續(xù)剛度測量和高達500Hz的疲勞測試 3軸傳感器與樣品對齊 尺寸：120 x 44 x 72 mm
微柱壓縮 •微懸臂斷裂試驗 疲勞測試 納米壓痕 微拉伸測試 |
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