[文章導(dǎo)讀] X射線能譜儀為掃描電鏡附件，X射線能譜儀原理為電子槍發(fā)射的高能電子由電子光學(xué)系統(tǒng)中的兩級(jí)電磁透鏡聚焦成很細(xì)的電子束來激發(fā)樣品室中的樣品，從而產(chǎn)生背散射電子、二次電子、俄歇電子、吸收電子、透射電子、X射線和陰極熒光等多種信息。若X射線光子由Si（Li）探測器接收后給出電脈沖訊號(hào)，

X射線能譜儀（點(diǎn)擊了解詳情）為掃描電鏡附件，X射線能譜儀原理為電子槍發(fā)射的高能電子由電子光學(xué)系統(tǒng)中的兩級(jí)電磁透鏡聚焦成很細(xì)的電子束來激發(fā)樣品室中的樣品，從而產(chǎn)生背散射電子、二次電子、俄歇電子、吸收電子、透射電子、X射線和陰極熒光等多種信息。若X射線光子由Si（Li）探測器接收后給出電脈沖訊號(hào)，X射線能譜儀由于X射線光子能量不同（對(duì)某一元素能量為一不變量）經(jīng)過放大整形后送入多道脈沖分析器，通過顯像管就可以觀察按照特征X射線能量展開的圖譜。一定能量上的圖譜表示一定元素，圖譜上峰的高低反映樣品中元素的含量（量子的數(shù)目）。

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