[文章導(dǎo)讀] 為什么說晶體尺寸越大越好呢。使用大面積探測器意味著提高圖像的質(zhì)量和分析的準(zhǔn)確性，無需為X射線能譜儀分析而改變束流。
探測器的能量分辨率和低能探測性能不隨探測晶體尺寸的變化而變化，這是因?yàn)橥庵?/span>FET設(shè)計。如果探測器的位置不變，計數(shù)率的增加與探測器的面積成正比。所有尺寸的探測器晶體都具有相同優(yōu)秀的分辨率。
（圖為牛津X-Maxn能譜儀不同晶體所測結(jié)果）
為什么說晶體尺寸越大越好呢。使用大面積探測器意味著提高圖像的質(zhì)量和分析的準(zhǔn)確性，無需為X射線能譜儀（點(diǎn) 擊了解詳情）分析而改變束流。相同束流下更高的計數(shù)率，更短的采集時間，更好的統(tǒng)計性。小的束斑下的可靠分析，更高的空間分辨率，高分辨SEM最佳的分析結(jié)果。
能譜儀超大面積探測器是SOD設(shè)計的突破，增大的探測面積捕捉較低的計數(shù)。
（圖為牛津X-Maxn能譜儀探測器）
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