[文章導讀] 通常情況下，MEMS包含一個力學結(jié)構(gòu)。對于大部分的MEMS裝置，這些結(jié)構(gòu)的力學性能對于系統(tǒng)高效的工作是非常重要的，力學參數(shù)包括剛度、線性度、附著力、滯后、撓度、驅(qū)動力、抗彎強度、蠕變和形貌。通過定量測定，可以有效減少MEMS開發(fā)的時間和成本，例如有問題的設(shè)備可以在早期以及生產(chǎn)過程的質(zhì)量檢查中識別出來。
通常情況下，MEMS包含一個力學結(jié)構(gòu)。對于大部分的MEMS裝置，這些結(jié)構(gòu)的力學性能對于系統(tǒng)高效的工作是非常重要的，力學參數(shù)包括剛度、線性度、附著力、滯后、撓度、驅(qū)動力、抗彎強度、蠕變和形貌。通過微納力學測試與組裝系統(tǒng)定量測定，可以有效減少MEMS開發(fā)的時間和成本，例如有問題的設(shè)備可以在早期以及生產(chǎn)過程的質(zhì)量檢查中識別出來。
FT-MTA系列測量一系列MEMS褶曲的in-pane剛度和out-of-plane剛度，為測量目標的剛度設(shè)定一個上限和下限，可建立正常工作的褶曲（綠色）與超出預(yù)期規(guī)格褶曲（紅色）的芯片布局圖，由此識別出晶片（高剛度）或者有裂縫的褶曲（低剛度），通過紅綠比可表明生成率。
納米懸臂的彈性以及頂端的附著力也可以通過微納力學測試與組裝系統(tǒng)進行測量，附著力相當于納米懸臂在卸載過程中的反向“拉力”。
聚合物材料（e.g.PMMA、PDMS、SU-8）通常用于MEMS的傳感器和制動器。但是，MEMS使用聚合物在實現(xiàn)力學目的同時也會引起新的問題和挑戰(zhàn)?？梢詾?/span>PMMA懸臂加載來測量器件的性能，例如翹曲力、彈性/塑性變形和滯后。
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