[文章導讀] 每種元素都具有自己的X射線特征波長，特征波長的大小則取決于能級躍遷過程中釋放出的特征能量△E，能譜儀就是利用不同元素X射線光子特征能量不同這一特點來進行成分分析的。

每種元素都具有自己的X射線特征波長，特征波長的大小則取決于能級躍遷過程中釋放出的特征能量△E，能譜儀就是利用不同元素X射線光子特征能量不同這一特點來進行成分分析的。

能譜儀作為電鏡微區(qū)成分分析的重要工具，一直是掃描及透射電鏡最常用的附件。在很多情況下，能譜儀能譜的分析結果往往更一目了然，極具說服力，因此極大地擴展了電鏡的使用領域。應用范圍在高分子、陶瓷、混凝土、生物、礦物、纖維等無機或有機固體材料分析；金屬材料的相分析、成分分析和夾雜物形態(tài)成分的鑒定；能譜儀可對固體材料的表面涂層、鍍層進行分析，如：金屬化膜表面鍍層的檢測；金銀飾品、寶石首飾的鑒別，考古和文物鑒定，以及刑偵鑒定等領域；能譜儀進行材料表面微區(qū)成分的定性和定量分析，在材料表面做元素的面、線、點分布分析。

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