[文章導(dǎo)讀] 微力學(xué)測試與組裝系統(tǒng)技術(shù)，也稱深度敏感壓痕技術(shù)，是最簡單的測試材料力學(xué)性質(zhì)的方法之一。

微力學(xué)測試與組裝系統(tǒng)（點擊了解詳情）技術(shù)，也稱深度敏感壓痕技術(shù)，是最簡單的測試材料力學(xué)性質(zhì)的方法之一。

    傳統(tǒng)的硬度測試是將一特定形狀的壓頭用一個垂直的壓力壓入試樣，根據(jù)卸載后的壓痕照片獲得材料表面留下的壓痕半徑或?qū)蔷€長度計算出壓痕面積。隨著現(xiàn)代微電子材料科學(xué)的發(fā)展，試樣規(guī)格越來越小型化，傳統(tǒng)的壓痕測量方法逐漸暴露出它的局限性。一是這種方法僅僅能夠得到材料的塑性性質(zhì)，另外這種測量方法只適用于較大尺寸的試樣。新興微力學(xué)測試與組裝系統(tǒng)技術(shù)的產(chǎn)生很好解決了傳統(tǒng)測量的缺陷。

（圖為瑞士FT-MTA03微力學(xué)測試與組裝系統(tǒng)）

微力學(xué)測試與組裝系統(tǒng)技術(shù)也稱深度敏感壓痕技術(shù)，它通過計算機程序控制載荷發(fā)生連續(xù)變化，實時測量壓痕深度，由于施加的是超低載荷，監(jiān)測傳感器具有優(yōu)于1nm的位移分辨率，所以，可以達(dá)到小到納米級（0.1~100nm）的壓深，它特別適用于測量薄膜、涂層等超薄層材料力學(xué)性能，可以在納米尺度上測量材料的力學(xué)性質(zhì)，如載荷-位移曲線、彈性模量、硬度、斷裂韌性、應(yīng)變硬化效應(yīng)、粘彈性或蠕變行為等。

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