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等離子體指部分或完全電離的氣體,且自由電子和離子所帶正、負電荷的總和完全抵消,宏觀上呈現(xiàn)中性電。等離子體又叫做電漿,是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產(chǎn)生的正負電子組成的離子化氣體狀物質(zhì),它廣泛存在于宇宙中,常被視為是除去固、液、氣外,物質(zhì)存在的第四態(tài)。
等離子體可分為兩種:高溫和低溫等離子體。低溫等離子表面處理(點擊了解詳情)的電離率較低,電子溫度遠高于離子溫度,離子溫度甚至可與室溫相當。所以低溫等離子表面處理是非熱平衡等離子體,低溫等離子表面處理中存在著大量的、種類繁多的活性粒子,比通常的化學反映所產(chǎn)生的活性粒子種類更多、活性更強,更易于和所接觸的材料表面發(fā)生反映,因此它們被用來對材料表面進行改性處理。
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