[文章導(dǎo)讀] 40KHz等離子體在能量轉(zhuǎn)化方面優(yōu)于13.56MHz，前者將更多的能量轉(zhuǎn)化為粒子動(dòng)能及化學(xué)活性，后者在等離子清洗機(jī)處理過程中產(chǎn)生的熱量比較多，也就是其中很多能量轉(zhuǎn)化為了熱能，所以就降低了粒子的動(dòng)能及化學(xué)活性，等離子清洗機(jī)處理的效果就會(huì)不理想。

40KHz等離子體在能量轉(zhuǎn)化方面優(yōu)于13.56MHz，前者將更多的能量轉(zhuǎn)化為粒子動(dòng)能及化學(xué)活性，后者在等離子清洗機(jī)處理過程中產(chǎn)生的熱量比較多，也就是其中很多能量轉(zhuǎn)化為了熱能，

所以就降低了粒子的動(dòng)能及化學(xué)活性，等離子清洗機(jī)處理的效果就會(huì)不理想。13.56MHz等離子清洗機(jī)電場的頻率振蕩較高，相對于40KHz射頻等離子清洗機(jī)而言電子在轉(zhuǎn)變方向之前的運(yùn)動(dòng)距離更短。這意味著在每個(gè)運(yùn)動(dòng)周期中能夠到達(dá)器件表面的粒子數(shù)量更少，因此表面受到粒子撞擊減少，均勻度降低，從而降低了清洗的效率和效果，直接影響產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)量。

（科研用真空等離子清洗機(jī)）

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