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[文章導(dǎo)讀] 等離子清洗機(jī)技術(shù)的最大特點(diǎn)是不分處理對(duì)象的基材類(lèi)型,均可進(jìn)行處理
等離子清洗機(jī)(點(diǎn)擊了解詳情)技術(shù)在本世紀(jì)60年代起就開(kāi)始應(yīng)用于化學(xué)合成、薄膜制備、表面處理和精細(xì)化工等領(lǐng)域,在大規(guī)模或超大規(guī)模集成電路工藝干法化、低溫化方面,近年來(lái)也開(kāi)發(fā)應(yīng)用了等離子體聚合、等離子體蝕刻、等離子體灰化及等離子體陽(yáng)極氧化等全干法工藝技術(shù)。等離子清洗機(jī)技術(shù)也是工藝干法化的進(jìn)步成果之一。與濕法清洗不同,等離子清洗機(jī)的機(jī)理是依靠處于“等離子態(tài)”的物質(zhì)的“活化作用”達(dá)到去除物體表面污漬的目的。從目前各類(lèi)清洗方法來(lái)看,可能等離子清洗機(jī)也是所有清洗方法中最為徹底的剝離式的清洗。
等離子清洗機(jī)技術(shù)的最大特點(diǎn)是不分處理對(duì)象的基材類(lèi)型,均可進(jìn)行處理,如金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料(如:聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環(huán)氧、甚至聚四氟乙烯)等原基材料都能很好地處理,并可實(shí)現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。
Plasma等離子清洗機(jī)是德國(guó)Plasmatechnology GmbH公司產(chǎn)品,德國(guó)Plasmatechnology GmbH公司致力于真空等離子清洗機(jī)領(lǐng)域20余年。得益于與廣大用戶(hù)在表面處理,材料表面改性修飾領(lǐng)域的緊密合作,等離子清洗機(jī)技術(shù)已被廣泛應(yīng)用到世界各地的各個(gè)領(lǐng)域。
可能有人會(huì)關(guān)心等離子清洗機(jī)對(duì)人體是否有輻射,等離子清洗機(jī)有一定小的輻射,但是其等離子清洗機(jī)本身自帶著防輻射屏蔽罩,所以這個(gè)輻射的顧慮是可以完全忽略不計(jì)的。
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