[文章導(dǎo)讀] 等離子體表面處理就成為研究的客體（物質(zhì)），那時(shí)研究等離子體的興趣主要與發(fā)展氣體放電儀器（汞弧整流器、充氣二極管、三極管[閘流管]、穩(wěn)壓二極管）相關(guān)的

氣體放電和等離子體物理的主要研究是十九世紀(jì)和二十世紀(jì)之交開始的。在這個(gè)時(shí)期朗繆爾和他的同事對(duì)氣體的放電理論和等離子體做出了重要的貢獻(xiàn)，正是他給出了等離子體表面處理（點(diǎn)擊了解詳情）的概念、等離子體的定義，給了等離子體的名稱“plasma”，指出了實(shí)驗(yàn)和理論上研究等離子體的方法，首先使用探針對(duì)等離子體參數(shù)進(jìn)行了診斷。

到了本世紀(jì)的三十年代，等離子體表面處理就成為研究的客體（物質(zhì)），那時(shí)研究等離子體的興趣主要與發(fā)展氣體放電儀器（汞弧整流器、充氣二極管、三極管[閘流管]、穩(wěn)壓二極管）相關(guān)的。五十年代是等離子體表面處理物理發(fā)展取得成果最豐碩的年代，那時(shí)研究等離子體的主要興趣是與核聚變研究相關(guān)的，至今雖然還沒有研制成工業(yè)應(yīng)用的熱核反應(yīng)堆，但等離子體表面處理研究卻取得了長足的進(jìn)步，特別是在研究等離子體表面處理的振蕩與不穩(wěn)定性方面。

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