[文章導(dǎo)讀] 等離子化學(xué)氣相沉積設(shè)備技術(shù)是借助于輝光放電等離子體使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術(shù)

      等離子化學(xué)氣相沉積設(shè)備（點(diǎn)擊了解詳情），是一種用等離子體激活反應(yīng)氣體,促進(jìn)在基體表面或近表面空間進(jìn)行化學(xué)反應(yīng),生成固態(tài)膜的技術(shù)。等離子化學(xué)氣相沉積設(shè)備技術(shù)的基本原理是在高頻或直流電場作用下，源氣體電離形成等離子體，利用低溫等離子體作為能量源，通入適量的反應(yīng)氣體，利用等離子體放電，使反應(yīng)氣體激活并實(shí)現(xiàn)化學(xué)氣相沉積的技術(shù)。等離子化學(xué)氣相沉積設(shè)備與傳統(tǒng)化學(xué)氣相沉積技術(shù)的區(qū)別在于等離子體含有大量的高能量電子，這些電子可以提供等離子化學(xué)氣相沉積設(shè)備過程中所需要的激活能，從而改變了反應(yīng)體系的能量供給方式。

由于等離子體中的電子溫度高達(dá)10000K，電子與氣相分子的碰撞可以促進(jìn)反應(yīng)氣體分子的化學(xué)鍵斷裂和重新組合，生成活性更高的化學(xué)基團(tuán)，同時整個反應(yīng)體系卻保持較低的溫度。這一特點(diǎn)使得原來需要在高溫下進(jìn)行的化學(xué)氣相沉積過程得以在低溫下進(jìn)行。

      （北京歐倍爾真空等離子）

      等離子化學(xué)氣相沉積設(shè)備技術(shù)是借助于輝光放電等離子體使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術(shù)。由于等離子化學(xué)氣相沉積設(shè)備技術(shù)是通過應(yīng)氣體放電來制備薄膜的，有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征，從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式。更多有關(guān)于等離子化學(xué)氣相沉積設(shè)備相關(guān)知識，請聯(lián)系等離子化學(xué)氣相沉積設(shè)備廠商---北京歐倍爾公司（www.gzlianxiong.com.cn）。