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[文章導(dǎo)讀] 等離子發(fā)生器低溫等離子體的發(fā)生技術(shù)
1、等離子發(fā)生器(點(diǎn)擊了解詳情)按等離子焰溫度分:
(1) 高溫等離子體:溫度相當(dāng)于108~109K完全電離的等離子體,如太陽(yáng)、受控?zé)岷司圩兊入x子體。
(2)低溫等離子體:
等離子發(fā)生器熱等離子體:稠密高壓(1大氣壓以上),溫度103~105K,如電弧、高頻和燃燒等離子體。
等離子發(fā)生器冷等離子體: 電子溫度高(103~104K)、氣體溫度低,如稀薄低壓輝光放電等離子體、電暈放電等離子體、DBD介質(zhì)阻擋放電等離子體、索梯放電等離子體等。
2、等離子發(fā)生器按等離子體所處的狀態(tài):
(1)等離子發(fā)生器平衡等離子體:氣體壓力較高,電子溫度與氣體溫度大致相等的等離子體。如常壓下的電弧放電等離子體和高頻感應(yīng)等離子體。
(2)等離子發(fā)生器非平衡等離子體:低氣壓下或常壓下,電子溫度遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于氣體溫度的等離子體。如低氣壓下DC輝光放電和高頻感應(yīng)輝光放電,大氣壓下DBD介質(zhì)阻擋放電等產(chǎn)生的冷等離子體。
等離子發(fā)生器低溫等離子體的發(fā)生技術(shù)
·直流輝光放電等離子發(fā)生器
·低頻放電等離子體等離子發(fā)生器
·高頻放電等離子體等離子發(fā)生器
·非平衡大氣壓等離子體放電等離子發(fā)生器
·介質(zhì)阻擋放電等離子發(fā)生器
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