[文章導(dǎo)讀] 等離子表面處理分為化學(xué)清洗、物理清洗及物理化學(xué)清洗。針對(duì)不同的清洗對(duì)象可選擇O2、H2和Ar等工藝氣體進(jìn)行幾十秒的表面處理。

等離子表面處理分為化學(xué)清洗、物理清洗及物理化學(xué)清洗。針對(duì)不同的清洗對(duì)象可選擇O2、H2和Ar等工藝氣體進(jìn)行幾十秒的表面處理。

化學(xué)清洗是利用等離子體里的高活性自由基與材料表面的有機(jī)物等進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)。采用氧氣進(jìn)行清洗，使非揮發(fā)性的有機(jī)物變成易揮發(fā)的形態(tài)，產(chǎn)生二氧化碳、一氧化碳和水。化學(xué)清洗的優(yōu)點(diǎn)是等離子表面處理速度高、選擇性好和對(duì)清洗有機(jī)污染物比較有效，主要缺點(diǎn)是生成的氧化物可能在材料表面再次形成污染。在引線鍵合工藝中，氧化物是最不希望有的，這些缺點(diǎn)可以通過(guò)適當(dāng)選擇工藝參數(shù)進(jìn)行避免。

物理清洗是利用等離子表面處理里的離子做純物理的撞擊，把材料表面附著的原子打掉，也稱為濺射腐蝕。采用氬氣進(jìn)行清洗，氬離子以足夠的能量轟擊器件表面，撞擊力足以去除任何污垢。聚合物中的大分子化學(xué)鍵分離成小分子而汽化，通過(guò)真空泵排出。同時(shí)經(jīng)過(guò)氬等離子表面處理清洗后，能夠改變材料表面的微觀形態(tài)，使材料在分子級(jí)范圍內(nèi)變得更加“粗糙”， 可大幅改善表面活性，提高表面的粘結(jié)性能。氬等離子的優(yōu)點(diǎn)是清理材料表面不會(huì)留下任何氧化物。缺點(diǎn)是可能發(fā)生過(guò)量腐蝕或污染物顆粒重新積聚在其他不希望的區(qū)域，但是這些缺點(diǎn)可通過(guò)細(xì)調(diào)工藝參數(shù)得到控制。

物理化學(xué)反應(yīng)同時(shí)存在的等離子表面處理清洗中物理反應(yīng)與化學(xué)反應(yīng)均起重要作用的清洗。如采用Ar和O₂的混合氣體進(jìn)行在線式等離子表面處理過(guò)程時(shí)，反應(yīng)速率比單獨(dú)使用Ar或O₂都要快。氬離子被加速后，產(chǎn)生的動(dòng)能又能提高氧離子的反應(yīng)能力，因此用物理化學(xué)方法可清除污染較為嚴(yán)重的材料表面。

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