[文章導(dǎo)讀] 等離子表面處理機(jī)非平衡等離子體一般是在較低氣壓下產(chǎn)生的，這時的分子間距較大，電子在空間長距離被加速

等離子體是一個開放的、由外加能量作用于分子態(tài)氣體而持續(xù)產(chǎn)生活潑的非分子態(tài)粒子的流動體系。等離子表面處理機(jī)（點(diǎn)擊了解詳情）中等離子體電子和離子的能量狀態(tài)一般分為T_e≈T_i和T_e?T_i（電子溫度Te和

離子溫度Ti）兩種情況。前者稱為平衡態(tài)等離子體或高溫等離子體，后者稱為非平衡態(tài)等離子體或低溫等離子體。

等離子表面處理機(jī)非平衡等離子體一般是在較低氣壓下產(chǎn)生的，這時的分子間距較大，電子在空間長距離被加速，動能很容易達(dá)到10～20eV的高能量。等離子表面處理機(jī)這種被加速的電子與氣體分子發(fā)生非彈性碰撞，使分子軌道斷裂，從而使分子激發(fā)、離解、電離，生成大量的基態(tài)或激發(fā)態(tài)的原子和帶電粒子等。在這種情況下，電子具有較高的動能而其他重粒子的溫度較低，體系處于非平衡態(tài)。等離子表面處理機(jī)非平衡態(tài)等離子體中的粒子具有很高的化學(xué)活性，利用等離子態(tài)氫還原金屬氧化物，特別是為還原高熔點(diǎn)極難還原的金屬氧化物提供了一種潛在的可能途徑。

想了解更多關(guān)于等離子表面處理機(jī)的信息，請登錄www.gzlianxiong.com.cn或撥打400-686-0188