[文章導(dǎo)讀] 北京歐倍爾等離子表面處理機(jī)對(duì)物體表面的刻蝕都是納米級(jí)的，肉眼無(wú)法識(shí)別。等離子表面處理機(jī)的刻蝕可以通過(guò)功率和時(shí)間來(lái)進(jìn)行控制，范圍大概在5納米到200納米

    等離子表面處理機(jī)，又叫等離子平面刻蝕機(jī)、等離子體清洗機(jī)、等離子表面處理儀、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子表面處理機(jī)刻蝕，是干法刻蝕中最常見(jiàn)的一種形式，其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體，由此產(chǎn)生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體，從而形成了等離子或離子，電離氣體原子通過(guò)電場(chǎng)加速時(shí)，會(huì)釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。

（北京歐倍爾等離子表面處理機(jī)）

等離子表面處理機(jī)可應(yīng)用于所有的基材，甚至復(fù)雜的幾何構(gòu)形都可以進(jìn)行等離子體活化、等離子體清洗，等離子刻蝕，等離子體鍍膜也毫無(wú)問(wèn)題。等離子表面處理機(jī)工作時(shí)的熱負(fù)荷及機(jī)械負(fù)荷都很低，因此，低壓等離子體也能處理敏感性材料。等離子表面處理機(jī)刻蝕的材料主要分為金屬材料和硅。等離子表面處理機(jī)刻蝕一般都工作在低氣壓的條件下。在低氣壓下，氣體分子密度降低，電子自由度增加，因而電子在每?jī)纱闻鲎仓g的加速度能量增加，使電離幾率增加。

等離子表面處理機(jī)刻蝕對(duì)物體表面的刻蝕都是納米級(jí)的，肉眼無(wú)法識(shí)別。等離子表面處理機(jī)刻蝕的刻蝕可以通過(guò)功率和時(shí)間來(lái)進(jìn)行控制，范圍大概在5納米到200納米。

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