傳感器用于檢測(cè)對(duì)材料施加的力和位移，進(jìn)而傳輸?shù)綌?shù)據(jù)處理系統(tǒng)，形成載荷-位移曲線，被認(rèn)為是納米壓痕儀的“心臟”。儀器檢測(cè)的準(zhǔn)確度、分辨率主要來(lái)源于傳感器。Hysitron采用已獲得5項(xiàng)專利的三板電容傳感 ，靠靜電力施加載荷，同時(shí)通過板間電容變化測(cè)量位移，熱漂移小，具有原位施加超低載荷和極高靈敏度的位移測(cè)量能力。

Performech控制模塊內(nèi)部反饋控制回路頻率高達(dá)78KHz，確保載荷 位移函數(shù)能捕捉到壓痕產(chǎn)生過程中轉(zhuǎn)瞬即逝的變化，如位錯(cuò)、斷裂、薄膜剝落等，非常適用于應(yīng)變速率快的壓痕測(cè)試，同時(shí)能降低噪音背景，實(shí)現(xiàn)真正可靠的微觀納米尺度測(cè)試。

TI系列使用壓頭做高精度原位掃描成像，在測(cè)試前、后分別獲取局部拓?fù)涑上裥畔ⅲM(jìn)行精確定位（定位精度可達(dá)納米級(jí)）和觀察材料 變 形行為，提供“即時(shí)”更新的掃描控制和參數(shù)顯示。PI系列利用電子顯微鏡自身的成像和攝像功能，在電子顯微鏡上進(jìn)行納米力學(xué)測(cè)試的同時(shí)直接實(shí)時(shí)觀察檢測(cè)過程 。

硬度、彈性模量、接觸深度；摩擦系數(shù)、耐劃傷性、薄膜附著力、 分層力；3D形貌圖、粗糙度、膜厚、壓痕/劃痕殘余深度；耐磨性、磨損深度、磨損體積、納米加工。

nanoDMA III 配備了新開發(fā)的CMX控制算法，提供真實(shí)連續(xù)的力學(xué)性能（包括硬度、儲(chǔ)能模量、損耗模量、復(fù)合模量）與壓痕深度、 頻率和時(shí)間的函數(shù)關(guān)系。全面優(yōu)化的高帶寬的傳感器和電子控制納米動(dòng)態(tài)測(cè)試，提供業(yè)界領(lǐng)先的性能，靈敏度和寬廣的動(dòng)態(tài)范圍。